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新美光荣获2021“芯力气”评选双奖!集成电路刻蚀机中心零部件完成国产代替!

2024-10-09 03:52:15 开云登录网页-壳芯机

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  6月25-26日,以“心芯底细印,改变有鲲鹏”为主题的2021第五届集微半导体峰会在厦门海沧正式举行,历时两天。

  在26日的集微峰会主会场,2021年我国“芯力气”评选的颁奖活动隆重举行,也宣告本年度芯力气评选满意闭幕,新美光(姑苏)半导体科技有限公司获得2021我国“芯力气”出资组织引荐奖、2021我国“芯力气”最具出资价值奖。

  关于获得这两个奖项,新美光总经理夏秋良以为,新美光选用国内最抢先的超导磁场MCZ单晶硅棒成长技能,成长出450mm直径的半导体级单晶硅棒,在国内获得零的打破,技能处于抢先水平。

  据介绍,现在,新美光主攻单晶硅、碳化硅两大事务,其间单晶硅部件是应用于65-14nm集成电路干流制程等离子刻蚀的中心零部件;碳化硅部件是应用于前沿的7-2纳米集成电路制程等离子刻蚀的中心零部件。

  新美光高品质超大尺度单晶硅棒成长技能已获得打破,把握了国内抢先的超导磁场MCZ单晶硅棒成长技能、最大450mm直径极低缺点成长技能和先进的计算机体系模仿技能,单次原生多晶投炉量可到达400公斤,可完成准确恒温操控等。

  新美光正在活跃推进单晶硅棒大规模量产。6月硅部件加工产线月份单晶硅部件开端下流送样验证,11月份新增三台长晶炉到厂,12月份搬家20307㎡量产厂房。到现在,新美光单晶硅棒已获得批量订单,出口国外客户。

  为了确保国产单晶硅棒产业链安全,新美光也在助力国产设备、资料厂商的开展。夏秋良泄漏,新美光正在与设备厂商联合研制下一代单晶硅棒设备,与设备厂商深度绑定,确保设备供给安全;与此同时,新美光还与可以成长电子级多晶硅的资料厂商协作,推进资料的本土化,确保供给链安稳。

  作为第三代半导体资料,碳化硅近几年来备受热捧。碳化硅部件全世界求过于供,2020年商场为17.5亿元,估计到2026年添加至24亿元,年化增长率7.3%。国内估计7nm(N+2)研制量产成功后需求会敏捷添加。

  可是碳化硅部件商场主要被TCK独占。2008年到2016年,TCK首先成功研制CVD SiC碳化硅部件产品,市占率超越80%。现在我国国内没有一点一个企业可以研制Solid CVD碳化硅部件。

  国产碳化硅亟待打破。新美光将碳化硅作为要点事务进行拓宽。据介绍,新美光碳化硅部件4月真实开端发动研制,正在与资料科学姑苏实验室联合攻关,估计2022年年末出样并经过客户认证,2023年完成量产。

  夏秋良介绍,新美光碳化硅选用CVD成长技能,在国内获得零的打破,在国际上处于抢先水平。现在国际上只要TCK、Morgan、Coorstek正在活跃布局大尺度碳化硅电极,新美光选用的技能与国外公司相似,技能距离在三年左右。

  夏秋良泄漏,新美光碳化硅部件量产场所正在与各地政府洽谈,未来估计投入10亿元,在2024-2026年期间方案建造18条碳化硅CVD生产线。

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